薄膜(Thin Film)是在 wafer 上「長」出材料層的步驟 — 沒有薄膜,黃光跟蝕刻都沒有東西可以雕。CVD、PVD、ALD 三大門派各管各的材料系統,conf call 上聽到 thickness drift、peeling、particle 多半是這一段。