黃光(Photolithography)是把電路圖案「印」到 wafer 上的關鍵步驟。一片 wafer 要進黃光區十幾次,每一層的 CD 與 overlay 都直接決定良率。conf call 上聽到 EUV、DUV、CD、overlay 飆來飆去就是這一段。