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VII

機台與保養

On Equipment, and Its Care

Equipment Engineer(EE)讓 fab 的機台 24/7 不斷運轉。PM(預防保養)與 CM(故障修復)是日常,OEE / MTBF / MTTR 是 KPI。Conf call 上聽到 tool down、qual、leak、RF match 多半是這一段。

這一章什麼時候會用到
M00
What Does Equipment Engineering Do?機台工程師在做什麼?
閱讀 · 5 分鐘
M01
Equipment Daily Abbreviations機台每天會用到的縮寫
共 13 個字