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V

擴散與佈植

Of Diffusion & Implantation

擴散(Diffusion)與佈植(Ion Implant)是把 dopant 雜質送進矽的兩條路徑 — 沒有這步驟,wafer 永遠只是一片絕緣矽板。Conf call 上聽到 Vt shift、dose、energy、tilt 多半是這一段。

這一章什麼時候會用到
M00
What Are Diffusion & Ion Implant?擴散與佈植是什麼?
閱讀 · 5 分鐘
M01
Diffusion & Implant Daily Abbreviations擴散與佈植每天會用到的縮寫
共 13 個字